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旋轉(zhuǎn)涂膜機適用于哪些材料的鍍膜工藝?

更新時間:2023-01-12      點擊次數(shù):1141
  旋轉(zhuǎn)涂膜機適用于半導(dǎo)體、晶體、CD、制版等表面鍍膜工藝,可用于強酸和強堿涂膜溶液的涂膜制備。該機可以對鍍膜機的腔體抽真空,使樣品在真空的狀態(tài)下進(jìn)行鍍膜,適合使用在空氣中容易氧化變質(zhì)的薄膜材料。鍍膜機工作時,樣品通過真空托盤吸附固定在樣品裝載托盤上。該設(shè)備可存儲12組程序,每組程序包含6個運行階段。設(shè)備在不同運行階段的不同轉(zhuǎn)數(shù),使設(shè)備緩慢提高到極限速度,有利于薄膜材料在樣品表面均勻成膜,不會浪費太多,從而節(jié)省材料,具有操作簡單、清洗方便、體積小等優(yōu)點,主要用于各大學(xué)和研究所的實驗室生成薄膜。
 
  

旋轉(zhuǎn)涂膜機

 

  1、旋轉(zhuǎn)涂膜機共有12組程序,每組包括6個運行階段。每級升降速率的設(shè)定范圍為100-2000rpm/s,每級時間范圍為0-60s。
  
  2、樣品可以通過真空吸附或粘接或夾緊來固定,操作簡單。
  
  3、吸盤的真空度可以達(dá)到-0.08MPa。
  
  4、使用定位工具,樣品可以很容易地放置在中心位置,以減少偏心引起的振動或飛片。
  
  5、可根據(jù)樣品規(guī)格使用不同的吸盤,更換方便簡單。
  
  6、電機采用DC無刷電機,無級調(diào)速,可靠性高,適應(yīng)性強,維修保養(yǎng)簡單,噪音低,振動小,運轉(zhuǎn)平穩(wěn),啟動快速平穩(wěn),加速后運轉(zhuǎn)平穩(wěn),能保證涂層厚度的一致性和均勻性。
  
  7、真空吸附固定樣品時,采用無油平行桿真空泵,具有體積小、結(jié)構(gòu)簡單、操作簡單、維修方便、無環(huán)境污染等優(yōu)點。
  
  8、涂覆可以在惰性氣體氣氛中進(jìn)行。
  
  9、涂覆可以在真空狀態(tài)下進(jìn)行。此時,需要通過粘合基板或夾緊基板來固定涂覆的基板。
  
  10、旋轉(zhuǎn)涂膜機腔體整體由聚丙烯制成,使用壽命更長,耐化學(xué)腐蝕性能提高,抗應(yīng)力開裂性能優(yōu)異。
  
  11、具有開蓋保護(hù)功能。當(dāng)涂層過程中或涂層結(jié)束時打開蓋子時,機器將快速減速直至停止。
  
  12、控制器采用控制箱,液晶顯示數(shù)值,更加直觀可靠。
  
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